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拉晶炉市场前景广阔 但仍依赖进口

2019-09-07 10:29      责任编辑:杨杨    来源:www.haofayi.com    点击: 次
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拉晶炉市场前景广阔 但仍依赖进口

        拉晶炉是晶体硅生长设备的一种,主要由用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统等构成;其主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态,在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒。

        根据拉晶工艺的不同,拉晶炉可分为单晶硅生长炉、硅单晶区熔炉两种。硅单晶区熔炉指一种高纯单晶硅棒生长设备,用于悬浮区熔提纯与单晶生长,生长出的单晶硅主要用于高功率的电子元件中;单晶硅生长炉是在真空状态和惰性气体保护下,通过石墨电阻加热器将多晶硅原料加热熔化,然后用直拉法生长单晶的设备,生长出的单晶硅主要用于生产低功率的集成电路元件。

        拉晶炉的研制涉及热力学、流体力学、半导体材料、电气、机械、计算机以及控制理论等多学科,是一项系统性工程,包括机械部件、电气硬件、控制软件、热场结构和晶体生长工艺的设计开发,技术工艺复杂。因此,拉晶炉行业壁垒较高,目前国内能够生产半导体拉晶炉设备的厂家只有极少数,比如浙江晶盛机电股份有限公司、南京晶能半导体科技有限公司、上海汉虹精密机械有限公司等,国内拉晶炉设备仍主要以进口为主,进口企业主要是美国Kayex公司、日本Ferrotec、德国PVA TePla AG等。根据新思界产业研究中心发布的《2019-2023年中国拉晶炉市场分析及发展前景研究报告》显示,2018年美国Kayex公司、日本Ferrotec、德国PVA TePla AG三家企业占据国内拉晶炉62%左右的市场份额。

        拉晶炉设备属于高新技术产业,其发展对国民经济和国家战略发展具有重要影响。近年来,国家不断出台产业政策,支持半导体和光伏行业的发展。在国家政策的推动下,中国半导体、光伏等行业得到快速发展,对大尺寸半导体晶圆的市场需求也在快速增长。

        另外,全球集成电路产业的制造重心、消费市场及人才逐渐向中国积聚,产业重心转移趋势明显。在制造环节,台电、中芯国际等全球主要晶圆制造企业纷纷在我国建立、扩充生产线,为拉晶炉设备发展提供了良好的产业基础。新思界行业分析师表示,我国拉晶炉行业处于发展期初期阶段,未来仍有较大的市场开拓空间,前景广阔。

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